Atonarp عملية مراقبة مطياف الكتلة ™ المواصفات الفنية :
في الوقت الحقيقي عملية مراقبة أداة عالمية ، ومقاومة للتآكل الغاز ، ومكافحة التكثيف
تصنيع أشباه الموصلات في الموقع منصة التحليل الجزيئي ، وتوفير الوقت الحقيقي ، بيانات قابلة للتشغيل
استخدام البلازما مصدر التأين ، لا خيوط ، أكثر دواما
يمكن أن تكون متكاملة تماما مع أدوات الإنتاج الضخم
Aston ™ عملية مطياف الكتلةمنصة قوية يمكن أن تحل محل مجموعة متنوعة من الأدوات التقليدية ، وتوفير مستويات لم يسبق لها مثيل من السيطرة ، بما في ذلك الطباعة الحجرية ، عازل موصل النقش والترسيب ، تنظيف الغرفة ، غرفة مطابقة و الهضم .
Aston ™ عملية مطياف الكتلةالمعلمات التقنية
|
نوع . |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
|
نموذج |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
|
فصل الشامل |
أربع مراحل قضيب |
|||||
|
نظام فراغ |
مضخة الجزيئية |
مضخة الجزيئية |
مضخة الجزيئية |
مضخة الجزيئية |
مضخة الجزيئية |
مضخة الجزيئية |
|
كاشف |
FC /SEM |
|||||
|
نطاق الجودة |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
|||
|
القرار |
0.8 ± 0.2 |
|||||
|
الكشف عن الحد |
0.1 PPM |
|||||
|
درجة حرارة التشغيل |
ج |
|||||
|
قوة . |
350 W |
|||||
|
وزن . |
15 kg |
|||||
|
حجم |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
||||
Atonarp Aston™ التطبيقات : التطورات الرئيسية في عملية أشباه الموصلات ومراقبة عملية التحسين ، وتحسين الإنتاجية والكفاءة في عملية تصنيع أشباه الموصلات
Aston ™ هو تصميم جديد قوي ودائم المدمجة على الانترنت مطياف الكتلة ، ينطبق على تصنيع أشباه الموصلات ومراقبة العملية الصناعية في تطبيقات رصد ومراقبة الغاز ، عالية الدقة في الوقت الحقيقي مع الجمع بين كمية الإنتاج والمتانة والموثوقية ، مثل أشباه الموصلات dry-pump الكشف عن غاز الذيل ، التحليل ، لتحقيق على الخط رصد وتشخيص .
الأمراض القلبية الوعائية / المدة : أكسيد نتريد الانتقال و تحليل تكوين
Etch/ALE End Point :<0.3%
التعرف على جزيئات التتبع

إذا كنت بحاجة إلى مزيد من المعلوماتAtonarp Aston ™ مطياف الكتلة على الانترنتلمزيد من المعلومات أو المناقشة ، يرجى الرجوع إلى طرق الاتصال التالية :
الآنسة يي ، ملكة جمال تايوان ، الآنسة وانغ
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
م : + + 86 1391-883-7267 م : + + 886-939-653-958
الآن بعض العلامات التجارية تجنيد وكلاء التعاون ، الذين يرغبون في الاتصال الآنسة شنغهاي بو دونغ يي 1391-883-7267
شنغهاي Bodong جميع الحقوق محفوظة .
