ميزات المنتج :
1 ، آلة شل الباردة المتداول لوحة الخبز ورنيش ، بطانة الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المواد ؛ سخانات موزعة بالتساوي في جميع أنحاء الجدار الخارجي من بطانة داخلية ، بطانة داخلية دون أي الملحقات الكهربائية القابلة للاشتعال والمتفجرة في الجهاز . تشديد ، رصاصة والدليل على الزجاج المزدوج الباب لمراقبة الكائنات في غرفة العمل في لمحة .
2 ، مربع الباب مغلقة ومرنة يمكن تعديلها ، جزءا لا يتجزأ من تشكيل سيليكون المطاط ختم الباب ، لضمان درجة عالية من فراغ في المربع .
3 ، الحواسيب الصغيرة التحكم في درجة الحرارة ذكي ، مع تحديد وقياس درجة الحرارة المزدوجة العرض الرقمي PID ضبط النفس وظيفة التحكم في درجة الحرارة دقيقة وموثوق بها .
4 ، ذكي شاشة تعمل باللمس نظام مراقبة مطابقة اليابان ميتسوبيشي المجلس التشريعي الفلسطيني وحدة يمكن أن توفر للمستخدمين وفقا لمختلف ظروف عملية تغيير البرنامج ، درجة الحرارة ، فراغ و كل وقت البرنامج .
5 ، HMDS الغاز مختومة شفط التلقائي إضافة تصميم فراغ مربع ختم جيدة الأداء ، وضمان HMDS الغاز لا تسرب خارجي من القلق .
6 ، النظام برمته مصنوع من المواد ، لا غبار المواد ، ومناسبة لتنقية البيئة بين 100 درجة الطباعة الحجرية .

اختيار الملحقات :
فراغ مضخة : العلامة التجارية الألمانية ، Laibao " العاصمة " القطبين سلسلة دوارة مضخة ، والحد من فراغ عالية ، وانخفاض مستوى الضجيج ، عملية مستقرة .
توصيل الأنابيب : الفولاذ المقاوم للصدأ منفاخ ، مختومة تماما مضخة فراغ فرن اتصال .

ضرورة HMDS نظام المعالجة :
في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، الطباعة الحجرية هي واحدة من أهم الروابط في عملية نقل الرسومات من الدوائر المتكاملة . في عملية مقاومة للضوء ، معظم مقاومة للضوء مسعور ، في حين أن مجموعات الهيدروكسيل و جزيئات الماء المتبقية على سطح رقاقة السيليكون هي ماء ، مما يؤدي إلى سوء الالتصاق بين مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون ، ولا سيما مقاومة إيجابية ، المطور سوف تغزو تقاطع مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون ، مما يؤدي بسهولة إلى الانجراف ، مقاومة عائمة ، وهلم جرا ، مما يؤدي إلى فشل photoetching نمط نقل ، وفي الوقت نفسه ، الرطب التآكل من السهل أن يحدث التآكل الجانبي . . . . . . . إن viscosifier hmds ( hexamethyldisilazane ) يمكن تحسين هذا الشرط . بعد hmds المغلفة على سطح رقاقة السيليكون ، Siloxane مركب يتكون أساسا من خلال تسخين الفرن . وقد نجحت في تغيير سطح رقاقة السيليكون من ماء مسعور ، مسعور مجموعة يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع مقاومة للضوء ، بدور وكيل اقتران .

مبدأ HMDS فراغ فرن :
HMDS نظام المعالجة يمكن أن معطف HMDS بالتساوي على سطح رقاقة السيليكون الركيزة من خلال المعلمات مثل درجة حرارة التشغيل ، وقت المعالجة ، والحفاظ على الوقت في عملية المعالجة من الفرن HMDS ، مما يقلل من زاوية الاتصال من رقاقة السيليكون بعد العلاج HMDS ، ويقلل من كمية من مقاومة للضوء ، ويحسن الالتصاق بين مقاومة للضوء رقاقة السيليكون .

HMDS فراغ فرن سير العمل العام :
أولا تحديد درجة حرارة الفرن . عادة ما تكون إجراءات المعالجة : فتح مضخة فراغ ضخ فراغ ، فراغ في الغرفة بعد أن وصلت إلى درجة معينة من فراغ عالية ، بدءا من ملء مع غاز النيتروجين ، بعد أن وصلت إلى درجة فراغ منخفضة ، مرة أخرى ، فراغ ، وملء النيتروجين في العملية ، بعد أن وصلت إلى عدد محدد من النيتروجين ملء ، تبدأ في الحفاظ على فترة من الزمن ، حتى أن رقاقة السيليكون ساخنة بما فيه الكفاية ، والحد من الرطوبة على سطح رقاقة السيليكون . ثم يبدأ ضخ فراغ مرة أخرى ، يملأ HMDS الغاز ، بعد الوصول إلى الوقت المحدد ، توقف عن شحن HMDS الدواء السائل ، يدخل عقد المرحلة ، يسبب رقاقة السيليكون تتفاعل مع HMDS تماما . عندما يتم التوصل إلى عقد الوقت المحدد ، فراغ ضخ يبدأ مرة أخرى . ملء مع النيتروجين لإكمال العملية برمتها . آلية التفاعل بين hmds رقاقة السيليكون هو مبين في الشكل : أولا ، يتم تسخينها إلى 100 ℃ - 200 ℃ لإزالة الرطوبة من سطح رقاقة السيليكون ، ثم hmds يتفاعل مع سطح أوه ، على سطح رقاقة السيليكون لإنتاج السيليكون الأثير ، والقضاء على السندات الهيدروجين ، مما يجعل سطح القطبية غير القطبية . رد فعل كامل يستمر حتى الفراغية عائق ( أكبر trimethylsilyl ) يمنع المزيد من ردود الفعل .

العادم : HMDS البخار الزائد ( غاز الذيل ) سيتم ضخها من قبل مضخة فراغ ، العادم إلى جمع النفايات الخاصة الأنابيب . عندما لا يكون هناك خط أنابيب لجمع النفايات الغاز الخاص ، يجب أن يكون هناك علاج خاص .

طلاء الخبز الباردة المتداول ورقة الغلاف