سوبر عالية الدقة المجهر الإلكتروني مجال الانبعاثات su8600 سلسلة
مع التطور السريع في تكنولوجيا جمع البيانات ومعالجتها ، المجهر الإلكتروني ( المجاهر الإلكترونية ) قد دخلت عصر ليس فقط التركيز على نوعية البيانات ، ولكن أيضا عملية جمع البيانات . su8600 سلسلة يرث regulus8200 سلسلة من الصور عالية الجودة ، شعاع كبير من التحليل و عملية مستقرة على المدى الطويل في مجال تكنولوجيا التصوير الباردة ، ولكن أيضا إلى حد كبير في تحسين تدفق عالية ، والقدرة على الحصول على البيانات تلقائيا .
- *
- صورة الجهاز يحتوي على خيارات .
-
مميزات
-
مواصفة
مميزات
مميزات
فائقة الدقة التصوير
هيتاشي عالية السطوع مصدر الإلكترون يضمن دقة عالية جدا من الصور التي يمكن الحصول عليها حتى في ظل انخفاض الجهد الهبوط . . . . . . .
على سبيل المثال من رو الزيوليت لوحظ تحت 0.8 كيلوفولت الجهد . الصورة على اليسار يظهر صورة كاملة من الجسيمات ، الصورة على اليمين يظهر صورة مكبرة . انخفاض الجهد مراقبة فعالة للحد من الضرر شعاع الالكترون والحصول على معلومات عن شكل سطح .
عينة العرض : اليابان معهد بحوث التكنولوجيا الصناعية
على النقيض عالية الجهد المنخفض تسريع backscattered الصور
3D ناندو عبر قسم المراقبة ؛
في ظل انخفاض الجهد التسارع ، backscattered الإشارات الإلكترونية يمكن أن تظهر بوضوح الفرق في المقابل بين طبقة أكسيد السيليكون نيتريد السيليكون طبقة .
3D ناندو عبر قسم المراقبة ( تسريع الجهد : 1.5kv ) .
صورة سريعة مرض جنون البقر : رواية scintillators ارتداد مبعثر للكشف عن الإلكترون ( الوسواس القهري )*
باستخدام نوع جديد من الوسواس القهري الكاشف ، حتى لو كان وقت المسح الضوئي أقل من 1 ثانية ، fin-fet يمكن أن لا تزال ترى صورة واضحة البنية العميقة .
ملاحظة على البنية الداخلية 5-nano-process SRAM ( تسريع الجهد : 30KV ، مسح الوقت < 1 ثانية )
ميزات التشغيل الآلي المتقدمة *
م تدفق الخالق يسمح للعملاء لخلق تدفق العمل الآلي المستمر التقاط الصور . م تدفق الخالق يحدد مختلف SEM وظائف وحدات رسومية ، مثل وضع التكبير ، نقل عينة من المواقع ، ضبط البعد البؤري ، وعلى النقيض من الضوء والظل . يمكن للمستخدمين ببساطة سحب وإسقاط هذه الوحدات في ترتيب منطقي في برنامج العمل . بعد التصحيح و تأكيد ، يمكن للبرنامج تلقائيا الحصول على جودة عالية ، واستنساخ بيانات الصورة في كل مرة .
مرونة واجهة المستخدم
الأصلي يدعم عرض مزدوج يوفر مرونة وكفاءة التشغيل الفضاء . 6 - قناة عرض وحفظ في وقت واحد ، وتحقيق سريع متعدد إشارة المراقبة وجمع .
1 ، 2 ، 4 أو 6 قنوات الإشارات التي يمكن عرضها على نفس الشاشة في وقت واحد ، بما في ذلك تحويل محتويات SEM للكشف عن عينة غرفة الكاميرا والملاحة الكاميرا . مساحة العمل يمكن توسيعها من خلال استخدام اثنين من الشاشات ، ويمكن تخصيص واجهة المستخدم لتحسين كفاءة العمل .
مواصفة
نموذج | سلسلة SU8600 | |
---|---|---|
نظام البصريات الالكترونية | الإلكترون الثانوي صورة القرار | 6 ر م nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
التكبير | 20 to 2,000,000 x | |
بندقية الإلكترون | مجال الباردة مصدر الإلكترون الانبعاثات ، ودعم وظيفة مرنة وميض ، بما في ذلك الأنود الخبز النظام . | |
تسريع الجهد | 0.5 to 30 kV | |
هبوط الجهد | 0.01 to 20 kV | |
كشف | ( الجزء المتعلق بالخيارات ) | كاشف العلوي ( UD ) |
UD EXB تصفية الطاقة ، بما في ذلك ذاته / مرض جنون البقر إشارة مختلطة | ||
كاشف ( دينار ) | ||
أعلى كاشف ( TD ) | ||
TD فلتر الطاقة | ||
الخلفية الداخلية للكشف عن الإلكترون ( IMD ) | ||
semiconductive ارتداد مبعثر للكشف عن الإلكترون ( pd-bsed ) . | ||
رواية التلألؤ backscattered كاشف الالكترونية ( الوسواس القهري ) | ||
كاشف الفلورسنت الكاثود ( CLD ) | ||
المسح الضوئي للكشف عن انتقال | ||
المرفق | ( الجزء المتعلق بالخيارات ) | كاميرا الملاحة ، عينة غرفة الكاميرا ، مطياف الأشعة السينية ( eds ) ، ارتداد مبعثر حيود الإلكترون الكاشف ( EBSD ) |
سوفت وير | ( الجزء المتعلق بالخيارات ) | م تدفق الخالق ، HD التقاط ( ماكس 40 , 960 × 30 , 720 بكسل ) |
عينة الجدول | محرك رمح | 5 - محور محرك الأقراص ( س / ص / ص / ض / ر ) |
محرك رمح | X:0~110 mm | |
Y:0~110 mm | ||
Z:1.5~40 mm | ||
T:-5~70س | ||
R:360س | ||
عينة غرفة | حجم العينة | ماكس القطر : 150 مم |
- *
- في وضع التباطؤ
تصنيف المنتجات ذات الصلة
- ركزت شعاع ايون نظام ( فيبوناتشي / فيبوناتشي SEM )
- جهاز المعالجة تيم / SEM عينة